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¿Cuáles son las obleas MEMS?

¿Cuáles son las obleas MEMS?


Micro-Electro-Mechanical Systems - MEMS - obleas son miniaturizados elementos mecánicos y electromecánicos. Se componen de miniaturizados estructuras, sensores, actuadores y la microelectrónica. Los dispositivos pueden convertir la energía de una forma a otra, como la conversión de una señal mecánica medida en una señal eléctrica.

Usos

obleas de MEMS se utilizan en muchos tipos de dispositivos electrónicos, incluyendo sensores, cabezales de impresión y micro-reactores. También se utilizan a menudo en los sensores de presión, unidades de medida inerciales, el análisis de ADN y sensores implantables.

Material

obleas de MEMS se crean en silicona o vidrio obleas. tipos especiales de vidrio, incluyendo vidrio libre de álcali, vidrio de baja alcalinidad, vidrio especial altamente transparente y de alta pureza sílice fundida sintética están disponibles para aplicaciones especializadas.

tamaños

obleas MEMS varían de tamaño de una micra a varios milímetros. tamaños básicos son 4, 6 y 8 pulgadas con un espesor de entre 0,05 y 2 mm. Los pequeños actuadores realizar hazañas mecánicas mucho más grandes que su tamaño implicaría.

Futuro de la tecnología MEMS

Con un mayor desarrollo de la tecnología MEMS, puede ser posible para estos sensores miniaturizados, actuadores y estructuras que se fusionen sobre un sustrato de silicio común junto con circuitos integrados. Esto combinará los cerebros de circuito con las capacidades de toma de decisiones de los MEMS.